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半导体系体例造业

跟着人工智能、物联网、汽车等各个范畴的技能前进，全世界对于半导体

的需求与日俱增。制造这些半导体的半导体系体例造装备中利用的零部件

外形千差万别，而且要求高精度及外貌质量。常常需要切割铝材、使

用难以加工的脆性质料，需要的机械加工。

OKUMA拥有满意这些需求的进步前辈的加工机，并针对于各工件提出了优秀

的加工技能以和解决方案。

密封件

蚀刻装备等半导体系体例造装备零部件

材质:A5083

利用车削功效举行高质量面加工

经由过程动态歪斜车削实现高效车削加工

于连结刀尖角度必然的前提下，扭转歪斜轴(A轴)举行车削

·还有可以于防止工件与刀具干预干与的同时加工内径底切

·经由过程用统一刀具加工内径底切部，消弭接合面的凹凸差，实现提高加

工面质量

主动托板互换(APC)实现工序整合

经由过程APC实现省人化及高效的工件互换

·需要正背面等多工序加工的工件一台机床便可完成

实现该处置惩罚的产物MU-8000V 5轴节制立式加工中央

空间精度的改造

具备高刚性的耳轴事情台，支撑着高精度5轴加工

依赖5轴加工的高随动性，实现高质量的加工外貌

●两头支撑的高刚性耳轴事情台

●依赖滚珠丝杠的冷却装配（尺度规格），于确保高精度的同时实现高随动性

实现高精度5轴加工的分度精度(MU-5000V 实测值)

●分度精度

●高速动作

・A轴/C轴 90°夹紧/放松分度时间： 1.0秒/1.2秒

・A轴分度精度/分度复位精度： 0.68秒/ 0.40秒

・C轴分度精度/分度复位精度： 0.78秒/ 0.14秒

擅长切削的5轴加工机

冲破5轴加工机的极限以使人赞叹的加工能力完成高效率加工

MU-5000V、MU-6300V 实测值（［ ］：MU-6300V时）

主轴转速：895min-1

切削速率：225m/min

进给速率：2,250妹妹/min

切削宽度×切深：56×4妹妹

面铣加工能力：504cm3/min（S45C）

●ø80面铣刀 8刃（涂层）

主轴转速：4,000min-1

切削速率：251m/min

进给速率：4,800妹妹/min［2,800妹妹/min］

切削宽度×切深：7×20妹妹［12×20妹妹］

立铣加工能力：672cm3/min（S45C）

●ø20粗加工立铣刀 7刃（硬质合金）

可与车床媲美的车削能力实现工序集约

车削加工能力：3妹妹2（S45C）

加工直径：ø164妹妹［ø250妹妹］

切削速率：130m/min (事情台转速:252min-1）

进给速率：0.6妹妹/rev

切深：5妹妹

※刊登的数据为实绩值，因为规格、刀具、加工前提等的差别，所患上数据可能与刊登的数据差别。

5轴加工寻求的优良的能见性及可操作性

达到加工区域很是利便

改换工装、加工时易在确认刀尖的机床布局

●思量功课性的事情台、主轴、操作面板的优化结构

便在功课的脚踏台

●无需于意脚下的宽年夜脚踏台可消弭功课紧张状况

加工室内可视性优良的年夜型窗

确保宽年夜的加工规模，于耳轴处在分度状况下换刀

事情台呈各类角度歪斜状况下，刀具也可达乐鱼体育到工件端，可举行广规模的5轴加工。因为可于耳轴处在分度状况下举行换刀，是以可实现轮回时间的减少和加工精度的提高。